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    • 专利摘要:

    公开号:WO1985002057A1
    申请号:PCT/EP1984/000345
    申请日:1984-11-02
    公开日:1985-05-09
    发明作者:Walter Hoppe
    申请人:Max-Planck-Gesellschaft Zur Förderung Der Wissensc；
    IPC主号:G02B21-00
    专利说明:
    [0001] / -
    [0002] Verfahren und Einrichtung zum Ermitteln des
    [0003] Fokussierungszustandes eines abbildenden optischen Gerätes
    [0004] 1 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und Einrichtungen zum Ermitteln des Fokussierungszustandes eines abbildenden Gerätes, wie eines Licht- oder Elektronenmikroskopes.
    [0005] 5 Das Hauptanwendungsgebiet der Erfindung sind Elektronenmi roskope, insbesondere Durchstrahlungs-Elektronenmikroskope, und die Erfin¬ dung soll daher im folgenden in erster Linie anhand dieses Anwendungsbeispieles erläutert werden. Dies ist jedoch nicht einschränkend auszulegen, die Erfindung läßt sich vielmehr auch auf -|g andere abbildende teilchenoptische Geräte, wie Ionenmikroskope, Bildwandler und dergl., anwenden sowie auch auf abbildende lichtop¬ tische Geräte, wie Lichtmikroskope.
    [0006] 5 _ OMPI
    [0007] S i Ö 1 Der Fokussierungszustand ("Scharfeinstellung") eines Elektronenmi- kroskopes wird im allgemeinen visuell anhand des Leuchtsch rmb ldes eingestellt. Es ist auch bereits aus der DE-C-2. 41 288 bekannt, den Fokussierungszustand eines Elektronenmikroskops durch rεuz- 5 korrelation zu bestimmen. In beiden Fällen kann man das Vorzeichen einer Defokussierung nicht aus einem einzigen Bild, also aus einer "Momentaufnahme" bestimmen, man muß vielmehr den Fokussierungszu¬ stand ändern, um feststellen zu können, ob das Elektronenmikroskop überfokussiert oder unterfokussiert ist. Bei einer überfokussierung
    [0008] 10 liegt die Fokusebene, d.h. die Ist-Ebene des fokussierten Bildes,-. vom Objekt aus gesehen vor der Soll-Bildebene, z.B. einem Leucht¬ schirm, einer Photoplatte, einer Photokathode eines Bildwandlers oder der Objektebene eines Okulars eines lichtoptischen Mikros- kopes, während bei einer Unterfokussierung sich die Fokusebene
    [0009] 15 hinter der Soll-Bildebene befindet.
    [0010] Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ver¬ fahren und eine Einrichtung anzugeben, durch die das Vorzeichen und gemäß einer Weiterbildung auch der Betrag der Defokussierung des 20 Gerätes auf einfach'e Weise bestimmt werden können.
    [0011] Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß ein axialer Astigmatismus vorgegebener Orientierung erzeugt wird; daß zwei Darstellungen des entstehenden astigmatischen Bildes unter 25 Erzeugung einer zweidimensionalen Korrelationsfunktion korreliert werden und daß die Orientierung der Korrelationsfunktion bestimmt wird. Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen dieses Verfahrens sowie vorteilhafte Einrichtungen 2U seiner Durchführung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
    [0012] -30
    [0013] Durch das vorliegende Verfahren läßt sich das Vorzeichen und gegebenenfalls der Betrag der Defokussierung aus einem einzigen Bi Id einwandfrei bestimmen und damit die Richtung einer etwa notwendigen axialen Verstellung des Objekts, des Mikroskoptubus oder der Änderung von Linsenströmen bzw. Spannungen, die für die Erzeugung eines elektronenoptischen fokussierten Bildes in der Soll-B ldebene erforderlich ist. Man kann dadurch den Fokussie- rungsprozeß leicht automatisieren.
    [0014] Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.
    [0015] Es zeigen:
    [0016] Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Durchstrah- lungs-Elektronenmikroskops mit einer Ausführungsform einer Einrichtung zur Durchführung des vorliegenden Verfahrens;
    [0017] Fig. 2 Darstellungen der Autokorrelationsfunktion eines astigma- tischen Bildes für verschiedene Fokussierungszustände;
    [0018] Fig. 3a und 3b Logikschaltnetze für eine Einrichtung gemäß Fig. 1.
    [0019] In Fig. 1 ist 'ein im wesentlichen konventionelles elektromagne¬ tisches Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop 10 dargestellt, welches ein Strahlerzeugungssystem 12, eine Objekthalterung 14, ein Objek¬ tiv 16, ein Projektiv 18 und einen Leuchtschirm 20 enthält. Der Strahlengang des Elektronenmikroskops 10 enthält ferner einen Stigmator 22, der hinter dem Objektiv 16 angeordnet ist. Ein Stigmator ist eine magnetische Multipollinse, die zur Kompensation des axialen Astigmatismus des Abbildungssystems dient. Unter dem axialen Astigmatismus versteht man den Bildfehler der durch Abweichungen des elektronenoptischen Linsensystems von der Rota¬ tionssymmetrie verursacht wird, und wenn hier von "Astigmatismus" oder "astigmatisch" gesprochen wird, ist immer der axiale Astigma- tismus gemeint. Die verschiedenen elektromagnetischen Linsen werden durch eine geregelte Stromversorgungseinheit 24 gespeist. Dem -* . -
    [0020] Elektronenmikroskop 10 ist eine Einrichtung 30 zur Bestimmung des Fokussierungszustandes zugeordnet. Die Einrichtung 30 enthält bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 eine optisch-elektrische Wandlereinrichtung, die nach Art einer Fernsehkamera aufgebaut sein kann und einen Teil 20a des Leuchtschirms 20 rastermäßig abtastet sowie auf einer Ausgangsleitung 32 ein fernsehmäßiges Videosignal liefert. Das Videosignal von der Ausgangsleitung 34 wird über eine Torschaltung 36. einem optischen Korrelator 38 zugeführt, der die Autokorrelationsfuktion des von der Wandlereinrichtung 32 erfaßten B ldbereiches erzeugt. Bei der dargestellten Ausführungsform ent¬ hält der optische Korrelator 38 eine Schwellenwertschaltung 40, die die Amplitude der Videosignale binär quaπtisiert, sowie zwei Flüssigkristall-Punktmatrix-Anzeigevorrichtungen, die jeweils eine Steuerschaltung 42a, 44a sowie eine zweidimensionale Flüssigkri- Stallzellenanordnung 42b, 44b, enthalten. Solche LCD-Anzeigevoi— richtungen sind im Handel erhältlich, siehe z.B. den Bericht "Grafik-LCD" in der Zeitschrift FUNKSCHAU 12/1982, S. 12. Der optische Korrelator enthält ferner eine Lichtquelle 46 und eine Kondensorlinse 48 und eine Streuscheibe 49 zum Beleuchten der LCD-Punktmatrix 42b, eine Linse zur Fokussierung der parallelen Lichtstrahlen, die entsprechende Bildelemente (Pixels) in den Punktmatrix-Anzeigevorrichtungen 42b, 44b durchsetzend, und eine optisch-elektrische Wandlereinrichtung 52, die beispielsweise eine zweidimensionale Anordnung von Photodioden enthalten kann und anhand von Fig. 2 und 3 noch näher erläutert werden wird. Das Prinzip des optischen Korrelators 38 und anderer geeigneter opti¬ scher Korrelatoren ist in DE-C-24 41 288 und DE-C-25 29 735 ein¬ gehend beschrieben, auf die hier ausdrücklich Bezug genommen wird. Optische Korrelatoren mit LCD-Einπ'chtungen sind in DE-A 33 25 855 beschrieben, auf die hier ebenfalls Bezug genommen wird.
    [0021] Der optische Korrelator 38 kann auf dem Prinzip der Kreuzkorrela¬ tion arbeiten, wi.e die oben beschriebenen bekannten bzw. vorge- schlagenen optischen Korrelatoren, vorzugsweise arbeitet er jedoch auf dem Prinzip der Autokorrelation, d.h. daß ein durch die elektro-optische Wandlereinrichtung 32 aufgenommenes Bild mit sich selbst korreliert wird, was mathematisch einer Quadrierung der Intensitäten der einzelnen Pixels und Summierung der erhaltenen Quadrate entspricht. Die Autokorrelation hat gegenüber der Kreuz¬ korrelation den Vorteil, daß das in der Bildebene der Linse 50 auf der optisch-elektrischen Wandlereinrichtung 52 entworfene Bild der Korrelationsfunktion oder Faltung immer zentriert ist.
    [0022] Die Eingabe eines einzigen Bildes in den optischen Korrelator 38 kann auf verschiedene Weise erfolgen. ' Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel werden die Videosignale von der Ausgangsleitung 34 einer Vertikalsynchronisierimpuls-Abtrennstufe 54 zugeführt, von der die abgetrennten Vertikalsynchronisierimpulse einer Zähler¬ schaltung 56 zugeführt werden. Die Zählerschaltung 56 ist durch einen Startimpuls S einschaltbar und liefert auf einer Ausgangslei¬ tung 58 einen Auftastimpuls an- die Torschaltung 36, der beginnt, wenn der erste Vertikalsynchronisierimpuls eintrifft, nachdem die Zählerschaltung durch den Startimpuls ansprechbereit gemacht worden ist und der endet, wenn der dritte Vertikalsynchronisierimpuls eintrifft. Auf diese Weise läßt die Torschaltung 36 also genau zwei Halbbilder durch, die durch die Schwellenwertschaltung 40 quanti- siert und durch die LCD-Anzeigevorrichtungen 42, 44 in entsprechen- de Transmissionsbilder umgesetzt werden.
    [0023] Die Autokorrelationsfunktion eines stigmatisch fokussierten Bildes ist ein rotationssymmetrischer Peak 60, wie er in Fig. 2a dargestellt ist. Enthält die optisch-elektrische Wandlereinrichtung 52 beispielsweise eine Matrix von 3 x 3 Photodioden 1 bis 9, wie es in Fig. 2a dargestellt ist, und ist die Photodioden-Matrix
    [0024] OMPI A^ WIPO ,Λ**J 1 bezüglich des Strahlenganges des Korrelators 38 zentriert, so erhält bei einem stigmatisch fokussierten Bild lediglich -die mittlere Photodiode 5 Licht. Die Verhältnisse ändern sich auch nicht wesentlich, wenn das Bild mit axialem Astigmatismus behaftet
    [0025] 5 ist. Die Autokorrelationsfunktion ist bei fokussiertem Bild dann immer noch rotationssymmetrisch, das Autokorrelationsmaximum ist lediglich etwas diffuser.
    [0026] *.
    [0027] Anders liegen die Verhältnisse jedoch, wenn das durch das elektro- 0 nenoptische System erzeugte astigmatische Bild nicht in der durch de»n Leuchtschirm 20 gebildeten Soll-Bildebene liegt. In diesem Falle ist das Bild der Autokorrelationsfunktion des astigmatischen Bildes ein langgezogener, strichartiger bzw. el lipsenförmiger Peak, der in Abhängigkeit von der Orientierung des axialen Astigmatismus 5 des Abbildungssystems und je nachdem, ob überfokussierung oder Unterfokussierung vorliegt, eine erste, z.B. vertikale Richtung hat, wie es in Fig. 2b dargestellt ist, oder eine im rechten Winkel hierzu verlaufende horizontale Orientierung, wie es bei 60c in Fig. 2c dargestellt ist. Diese Tatsache wird bei der vorliegenden 0 Erfindung ausgenutzt: Zur Feststellung des Fokussierungszustandes wird mittels des Stigmators 22 bewußt ein axialer Astigmatismus vorgegebener Orientierung eingeführt. Da die Orientierung des bewußt erzeugten axialen Astigmatismus dann bekannt ist, läßt sich nun aufgrund der Orientierung des Bildes der Autokorrelationsfunk- 5 tion sofort feststellen, ob überfokussierung oder Unterfokussierung oder exakte Fokussierung vorliegen.
    [0028] Das Vorzeichen einer etwaigen Defokussierung kann im einfachsten Falle optisch ermittelt werden, indem man in der Brennebene der 0 Linse 50 eine Mattscheibe anordnet und das auf dieser entstehende optische Bild der Autokorrelationsfunktion betrachtet. Vorzugsweise erfolgt die Ermittlung des Fokussierungszustandes jedoch auf elektronischem Wege, was u.a. den Vorteil hat, daß man die auf diese Weise erzeugten Signale für eine automatische Fokussierung des Elektronenmikroskops verwenden kann.
    [0029] Zur elektronischen Ermittlung des Fokussierungszustandes kann man sich einer Photodiodenmatrix 62 der in Fig. 2 dargestellten Art bedienen, die in der Praxis jedoch im allgemeinen mehr als 3 x 3 Photodioden oder andere photoelektrische Aufnehmer enthalten wird. Die Signale der Photodioden 1 bis 9 lassen sich beispielsweise durch ein logisches Schaltnetz verarbeiten, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Zur Ermittlung des Zustandes "überfokussierung" (+) und "Unterfokussierung" (-) dient jeweils eine Schal¬ tungsanordnung der in Fig. 3a dargestellten Art. Die Bezeichnungen ohne Klammern gelten dabei für die Schaltung zur Ermittlung des Zustandes "überfokussierung", die Bezeichnungen mit Klammern für die Schaltung zur Ermittlung des Zustandes "Unterfokussierung". Einem ersten UND-Glied * 70 werden die Signale von den drei Photodioden 2, 5, 8 (bzw. 4, 5, 6) zugeführt, auf die jeweils das längliche Bild 60b (bzw. 60c) der Autokorrelationsfunktion für den betreffenden Defokussierungszustand fällt. Zur Sicherheit kann noch eine Antikoinziderizschaltung mit einem NOR-Glied 72 und einem zweiten UND-Glied 74 vorgesehen sein, die die Erzeugung des betreffenden Ausgangssignals nur dann zuläßt, wenn die seitlich der Mitte des strichförmigen Bildes liegenden Photodioden 4, 6 (bzw. 2, 8) kein Licht erhalten. Ein Signal F, das dem Zustand genauer Fokussierung entspricht, kann gemäß Fig. 3b durch ein Schaltnetz erzeugt werden, das ein NOR-Glied 76 mit vier Eingängen, die mit den rechts und links bzw. oberhalb und unterhalb der mittleren Photodiode 5 gelegenen Photodioden 2, 4, 6, 8 gekoppelt sind und dessen Ausgang mit einem ersten Eingang eines UND-Gliedes 78 verbunden ist, dessen zweiter Eingang mit der mittleren Photodiode 5 verbunden ist. Das UND-Glied 78 liefert das Ausgangssignal F also nur dann, wenn nur die Photodiode 5 Licht erhält, aber keine der Photodioden 2, 4, 6 und 8. Die Länge des strichförmigen Bildes 60b, 60c hängt außer vom Betrag des Astigmatismus des Bildes auch vom Ausmaß der Defokussierung ab. Mit einer größeren oder feiner unterteilten Photodiodenmatri kann also zusätzlich zum Vorzeichen der Defokussierung auch das Ausmaß der Defokussierung bestimmt werden.
    [0030] Eine Grob- und eine Feineinstellung der Fokussierung läßt sich auf einfache Weise durchführen, indem man zuerst zur Grob-Fokussierung mittels des Stigmators 22 nur einen schwachen axialen Astigmatismus einführt, das Bild dann so weit fokussiert, wie es das Auflö¬ sungsvermögen des Korrelators 38 zuläßt und anschließend mittels des Stigmators 22 einen stärkeren Astigmatismus einstellt, so daß der Korrelator 38 erneut ansprechen und zur Nachfokussierung verwendet werden kann. Selbstverständlich kann man die Fokussierung auch in mehr als zwei Stufen durchführen.
    [0031] Das in der Brennebene der Linse 50 erzeugte B ld der Autokorrela¬ tionsfunktion kann selbstverständlich auch auf andere Weise verar¬ beitet werden. Man kann es z.B. mittels einer Fernsehaufnahmeröhre aufnehmen, quantisieren und in einem Computer verarbeiten, wobei im Prinzip die gleichen Operationen durchgeführt werden, wie sie anhand der Figuren 2 und 3 erläutert wurden.
    [0032] Die mit den logischen Schaltnetzen gemäß Fig. 3 erzeugten Signale lassen sich zur automatischen Scharfeinstellung des Elektronenmi¬ kroskops 10 verwenden. Zu diesem Zweck kann beispielsweise eine Programmsteuerung 80 vorgesehen sein, die in bestimmten gegebenen¬ falls einstellbaren Zeitabständen jeweils eine Überprüfung und gegebenenfalls Nachstellung des Fokussierungszustandes des Elektro- nenmikroskops 10 bewirkt. Zur Einleitung eines überprüfungs- und Nachfokussierungsvorganges liefert die Programmsteuerung 80 als erstes ein Signal A an die Stromversorgung 24a für den Stigmator 22, durch das ein bestimmter Astigmatismus eingestellt wird. Anschließend liefert die Programmsteuerung 80 das Startsignal S an
    [0033] O PI > * den Zähler 56, wodurch in der oben beschriebenen Weise die Eingabe eines Bildes in den optischen Korrelator 38 veranlaßt wird. Wenn die Logikschaltungen (Fig. 3a, Fig. 3b) in der Einrichtung 52 dann das Signal F liefern, ist das Elektronenmikroskop ordnungsgemäß fokussiert, die Programmsteuerung 80 stellt dann den Stigmator wieder zurück und schaltet ab, bis der Zeitpunkt für die nächste Nachprüfung des Fokussierungszustandes gekommen ist. Tritt jedoch das Signal (+) oder (-) auf, so liefert die Programmsteuerung 80 ein Nachstellsignal N ensprechenden Vorzeichens an den Stromversor- gungsteil 24b, für das Objektiv 16, durch das der Objektivstrom im Sinne einer Verringerung der Defokussierung nachgestellt wird. Die " Nachstellung kann -iterativ erfolgen, d.h. der Strom wird um ein vorgegebenes, kleines Inkrement geändert, dann wird ein neuer Startimpuls S erzeugt und der Fokussierungszustand erneut über- prüft. Alternativ kann die Verstellung des Objektivstroms stetig, aber so langsam erfolgen, daß die Änderung des Fokussierungszustan¬ des kontinuierlich überprüft werden kann, indem eine Folge von Startimpulsen erzeugt wird, bis schließlich das Signal F auftritt. Die Programmsteuerung 80 schaltet dann den Stigmator 22 wieder auf den normalen Zustand, in dem ein hinsichtlich des Astigmatismus optimal korrigiertes Bild erzeugt wird, zurück und geht in den Ruhezustand, bis der nächste überprüfungs- und Fokussierungsvorgang gewünscht wird.
    [0034] Anstelle der oben erwähnten optischen Korrelationscomputer kann man im vorliegenden Falle auch einen Digitalrechner verwenden, da zum Ermitteln des Fokussierungszustands nur relativ wenige Werte der Autokorrelationsfunktion in der Umgebung des Korrelationspeaks errechnet zu werden brauchen.
    [0035] Die obigen Überlegungen lassen sich auch auf abbildende lichtop*** tische Geräte, wie Licht-Mikroskope, anwenden. Hier kann der erforderliche Astigmatismus z.B. durch Einführung einer Zylinder- linse in den Strahlengang des optischen Mikroskopes erfolgen. Die Zylinderlinse ist z.B. durch eine Schwenkvorrichtung oder eine elektromagnetische Antriebsvorrichtung (vom Objekt aus gesehen) hinter dem Objektiv und vor dem durch dieses erzeugte Zwischenbild selektiv in den Strahlengang einschaltbar gehaltert.
    [0036] O PI *»'
    权利要求:
    Claims Patentansprüche
    1. Verfahren zum Ermitteln des Fokussierungszustandes eines abbil¬ denden Gerätes, wie eines .Licht- oder Elektronenmikroskops, dessen Strahlengang eine Vorrichtung zur Beeinflussung des axialen Astig¬ matismus des erzeugten Bildes enthält, dadurch gekennzeichnet, daß ein axialer Astigmatismus vorgegebener Orientierung erzeugt wird; daß zwei Darstellungen des entstehenden astigmatischen Bildes unter Erzeugung einer zweidimensionalen Korrelationsfunktion korreliert werden und daß die Orientierung der Korrelationsfunktion bestimmt wi rd.
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Darstellungen des Bildes gleich sind und unter Bildung der Autokorrelationsfunktion korreliert werden.
    3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein bestimmter Betrag des Astigmatismus eingestellt wird und daß der Betrag der Defokussierung aus der Längsabmessung des aus der Korrelation resultierenden Korrelations-Peaks bestimmt wird.
    1 4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrelation auf optischem Wege unter Erzeugung eines zweidimen- sionalen Bildes der Korrelationsfunktion durchgeführt wird.
    5 5. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einem Abbildungssystem, welches eine Soll-Bildebene und eine » Vorrichtung zur Beeinflussung des axialen Astigmatismus eines in der Soll-Bildebene erzeugten Bildes enthält, und mit einer Korrela¬ tionsvorrichtung, der eine dem Bild entsprechende Eingangsgröße 0 zugeführt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrelationsvorπ'ch- tung (38) eine Anordnung (62, 70) zum Ermitteln der Orientierung eines länglichen Korrelations-Peaks enthält.
    6. Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 5, dadurch 5 gekennzeichnet, daß die Korrelationsvorrichtung (38) eine Autokor- relationsvorrichtung ist.
    7. Einrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrelationsvorπ'-chtung (38) ein optischer Korrelator ist. 0
    8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Korrelator Flüssigkristallmatrixanordnungen (42, 44) zum Erzeugen optischer Darstellungen des Bildes enthält.
    5 9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, gekennzeichnet durch eine Steuervorrichtung (80), die bei Auslösung einen vorgege¬ benen axialen Astigmatismus bestimmter Orientierung erzeugt und anschließend die Ermittlung der Orientierung des Korrelations-Peaks veranlaßt. 0
    10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein der Orientierung des Korrelations-Peaks entsprechendes Signal einer Vorrichtung zur Nachstellung des Fokussierungszustandes zugeführt ist. 5
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1985-05-09| AK| Designated states|Designated state(s): JP US |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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